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全口径智能环抛机
提供各种规格环形抛光机，具备转速、偏心距、校正盘卸荷等全工艺参数自动监测和控制功能，用于高精度和超高精度平面镜的加工。
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双摆研磨抛光机
用于高精度薄片型光学元件加工。
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分体式四轴研磨抛光机
提供多种规格抛光研磨盘，可用于各种光学玻璃、石英、晶体等脆性材料的平面、球面的研磨和抛光
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机器人研抛一体机
基于工业机器人的小工具加工机床，利用小工具在元件表面高速旋动，实现对平面、球面及非球面元件面形快速收敛。利用自主研发的基于力控传感器的柔性抛光头，确保抛光过程中材料去除函数稳定可控，从而实现超精密元件表面的高精度加工，配合全链路工艺、软件，实现光学元件从研磨到精密抛光的全链路加工。
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台式机器人研抛一体机
基于工业机器人的小工具加工机床，利用小工具在元件表面高速旋动，实现对平面、球面及非球面元件面形快速收敛。利用自主研发的基于力控传感器的柔性抛光头，确保抛光过程中材料去除函数稳定可控，从而实现超精密元件表面的高精度加工，配合全链路工艺、软件，实现光学元件从研磨到精密抛光的全链路加工。
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离子束抛光机
离子束抛光机是高束流密度、较小的束散角和较大束流均匀度的高能离子束轰击光学元件表面，实现光学元件高精度加工的抛光设备。高能离子的产生是基于高纯度惰性气体，经过中空阴极，在电源模块放电作用下产生电离，并将电子束流注入腔体内，电子束流经过电子均匀板将束流均匀分散进入到阳极区域内，电子在阳极的电场和磁场的作用下电力，并在栅网的电场作用下引出离子束流，通过系统控制，实现均匀、稳定的光学元件表面去除。
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4吋激光干涉仪
激光干涉仪采用相移技术准确表征被测表面的三维形貌，测量精度高达 0.06um 甚至更高，广泛用于平面光学元件高精度检测
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大口径波长移相激光干涉仪
激光干涉仪采用相移技术准确表征被测表面的三维形貌，测量精度高达 0.06um 甚至更高，广泛用于平面光学元件高精度检测